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基于高压水射流喷淋清洗工艺,理论分析了不同高压水射流喷淋清洗工艺条件下机械结构件表面颗粒污染状态,给出表征颗粒污染物定量去除的数学表达式,并理论计算了高压水射流喷淋参数对机械结构件表面颗粒污染移除率的影响规律。结果表明:高压水射流喷淋流量、压强和喷淋面积对颗粒污染物的移除效率影响较大,并通过实验验证了不同高压喷淋清洗工艺对光机模块表面洁净度影响的数学表达式。经过验证,理论结果与实验结果符合较好。