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本仪器利用X射线荧光分析原理和微机技术研制而成的。以小型X射线管作激发源,射线用小孔准直,样品用光学定位,样品最小测量面直径为0.1mm。微机多道实时显示能谱。它能快速、精确、无损测量多种微小面积上的单、双涂层厚度和合金涂层厚度及成分,结果由屏幕显示并打印输出,还能作统计处理。
XYH—86小面积X荧光涂层测厚仪
【摘 要】
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本仪器利用X射线荧光分析原理和微机技术研制而成的。以小型X射线管作激发源,射线用小孔准直,样品用光学定位,样品最小测量面直径为0.1mm。微机多道实时显示能谱。它能快速、
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1991年9期
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