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要想了解地球大气所包含的化学和物理循环,了解CO2、O3、H2O和CH4等大气物质在空间和时间上的分布至关重要．虽然某些遥感技术可用来测量这些大气物质,但那是一些采用复杂仪器的高成本技术．因此,利用单台遥感仪器同时测量这些大气物质,这对于降低成本、减小仪器的尺寸和复杂性具有明显的意义．在保持仪器灵敏度和探测距离的同时,多色探测器的质量,即高量子效率和低噪声也极其重要．本文介绍了单元多色探测器的结构,这是研制多色焦平面列阵的第一步．这种探测器由做有p-n结的Si、GaSb和InAs三层薄片构成,它们被