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【摘 要】
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设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,中国科学院光电研究院
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2015年4期
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