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全新的Applied Varian VⅡSta⑧900 3D系统实现无与伦比的离子束线路精度,适用于复杂FinFET和3D存储结构的掺杂工艺 独一无二的离子束形状控制能力结合Super-Scan3TM技术，可显著降低器件可变性，实现卓越的颗粒控制性能。从而显著提升产品良率。
应用材料公司推出面向3D芯片结构的先进离子注入系统
【摘 要】
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全新的Applied Varian VⅡSta⑧900 3D系统实现无与伦比的离子束线路精度,适用于复杂FinFET和3D存储结构的掺杂工艺 独一无二的离子束形状控制能力结合Super-Scan3TM技术，可显
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年7期
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