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薄膜热电偶厚度不超过15μm,能有效地保证不会对附着流的流谱或热流轨迹及壁厚产生扰动,可以显著地提高局部温度测量的精度。本文以镍基高温合金片为基底的薄膜热电偶为对象,简要介绍了薄膜热电偶的制备工艺;描述了薄膜热电偶的引线连接方法、不同引线方式的考核方法及结果;重点阐述其热电特性以及影响热电特性的关键因素;并对优化工艺条件下的薄膜热电偶的热电特性进行了验证。