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采用Sol—Gel法制备出掺杂SiO2，TiO2及ZrO2改性的γ-Al2O3膜，并通过SEM，EPMA，AFM等测试手段对膜结构和性能进行表征。探讨了制膜工艺条件对膜性能及结构的影响。制备的Al2O3复合膜膜厚为1—2μm，结构均匀无缺陷。
Al2O3-SiO2-TiO2一ZrO2复合陶瓷膜的制备与表征
【摘 要】
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采用Sol—Gel法制备出掺杂SiO2，TiO2及ZrO2改性的γ-Al2O3膜，并通过SEM，EPMA，AFM等测试手段对膜结构和性能进行表征。探讨了制膜工艺条件对膜性能及结构的影响。制备的Al2O3复合
【机 构】
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武汉理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2003年5期
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