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介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。
硅外延及其应用
【摘 要】
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介绍了硅外延生长技术,综述了应用于硅外延的分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)、液相沉积(LPE)三种工艺,并介绍了Si基外延材料器件的应用。
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司,昆明理工大学化学工程学院
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2013年03期
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