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为了实现磷肥企业磷酸浓缩装置氟吸收系统中副产氟硅化合物的综合利用，同时解决氟吸收系统被硅胶堵塞问题，将氟硅化合物加工为氟化工的基础原料无水氟化氢，生产过程中洗涤二氧化硅得到的低浓度氟化铵溶液返回磷肥生产的氟吸收系统补充含氟尾气吸收液．酸解残液返回磷肥生产的萃取系统等值利用．二氧化硅活化后用于橡塑填料。结果表明，该厂工艺实现了磷肥企业氟硅资源综合利用和磷肥企业清洁生产。