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PECVD设备及工艺技术已在半导体前道互连工艺及TSV领域展现了其广阔的应用前景,介绍了拓荆PECVD在TSV领域的应用,展现其良好的工艺表现.
PECVD在TSV领域的应用
【摘 要】
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PECVD设备及工艺技术已在半导体前道互连工艺及TSV领域展现了其广阔的应用前景,介绍了拓荆PECVD在TSV领域的应用,展现其良好的工艺表现.
【机 构】
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沈阳拓荆科技有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年7期
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