高氧化铝瓷纯钼金属化

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanghuayu1985
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本文介绍95%Al_2O_3瓷纯钼金属化的实验结果,给出了最佳工艺条件,并讨论了金属化机理. In this paper, the experimental results of the pure molybdenum metallization of 95% Al 2 O 3 ceramics are introduced, the optimum technological conditions are given, and the metallization mechanism is discussed.
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