论文部分内容阅读
微化工技术是20世纪90年代初兴起的多学科交叉的科技前沿领域,是集微机电系统设计思想和化学化工基本原理于一体,并移植集成电路和微传感器制造技术的一种高新技术,涉及化学、材料、物理、化工、机械、电子、控制学等各种工程技术和学科;其主要研究对象为特征尺度在数微米到数百微米间的微化工系统。作者对微化工技术的过程强化原理、微化工技术的研究与应用进行了描述。