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介绍了一种将天然二氧化硅或合成二氧化硅纯化的方法，该方法能有效降低二氧化硅中的碳含量。具体流程为：将二氧化硅粉体置于密闭的反应器中，电阻炉加热，以1L／min的速度向反应器内通入氧化气体，其中含臭氧不少于3％（体积分数），反应温度在260～1400℃，自然冷却后二氧化硅中碳质量分数可低于1×10^-5。