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流化床制备三氯氢硅是多晶硅生产中比较常见的工艺方法。通过理论计算,选择合适粒径的硅粉,结合实际生产,总结出最优工艺参数,保证三氯氢硅合成系统稳定运行。
流化床制备三氯氢硅工艺参数的优化
【摘 要】
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流化床制备三氯氢硅是多晶硅生产中比较常见的工艺方法。通过理论计算,选择合适粒径的硅粉,结合实际生产,总结出最优工艺参数,保证三氯氢硅合成系统稳定运行。
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2016年4期
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