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集成电路可靠性试验——盐雾技术研究
集成电路可靠性试验——盐雾技术研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:q3177848
【摘 要】
:
对盐雾试验的条件进行了分析.通过试验,验证了温度、盐浓度、氧溶解度和流速对盐雾试验的影响以及研究分析样品的摆放技术.
【作 者】
:
杜迎
朱卫良
管光宝
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第五十八研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2004年9期
【关键词】
:
集成电路
可靠性
盐雾
盐浓度
氧溶解度
流速
temperature
oxygen solubility
salinity
velocity of flow
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对盐雾试验的条件进行了分析.通过试验,验证了温度、盐浓度、氧溶解度和流速对盐雾试验的影响以及研究分析样品的摆放技术.
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