【摘 要】
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量化分析了低温杂质重掺杂条件下,采用非简并、简并近似和非抛物线能带结构对硅半导体中爱因斯坦关系的影响。主要分析结果表明:对于低温重掺杂硅中的爱因斯坦关系,有必要进行简
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量化分析了低温杂质重掺杂条件下,采用非简并、简并近似和非抛物线能带结构对硅半导体中爱因斯坦关系的影响。主要分析结果表明:对于低温重掺杂硅中的爱因斯坦关系,有必要进行简并近似的修正,在甚高掺杂时,还有必要进行更为精确的非抛物线能带结构的修正;修正因子随温度的上升而下降,随掺杂浓度的上升而上升。具有很强的物理指导意义。
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