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介绍了电感耦合等离子体光谱分析仪器技术的发展历程及主要技术特点,并分别评述了目前三种典型ICP光谱仪器及其技术现状和新进展,它们分别是:顺序扫描型ICP光谱仪、同时型ICP光谱仪及顺序-同时型ICP光谱仪。最后介绍了几种有较好应用前景的光谱新光源:静态高灵敏ICP(SHIP)光源,高功率微波等离子体光源,电容耦合等离子体光源,炬内进样短炬管等。