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随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物（AMC）对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术.
洁净室气态分子污染物的监测技术
【摘 要】
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随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物（AMC）对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监
【机 构】
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烟台宝源净化有限公司,烟台富仕通机械制造有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2006年2期
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