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宽范围原子力显微镜在超精加工中应用研究

来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenty2008

【摘 要】

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介绍了用于分析起精加工的原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达纳米级，测量范围可达140×140μm。采用探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了该测量方法的应用范围

【作 者】

：

张鸿海 张华书 师汉民 陈日曜 

【机 构】

：

华中理工大学,华中理工大学,华中理工大学,华中理工大学

【出 处】

：

制造技术与机床

【发表日期】

：

1997年06期

【关键词】

：

超精密加工 金刚石刀具钝圆半径 纳米级形貌 宽范围原子力显微镜 

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介绍了用于分析起精加工的原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达纳米级，测量范围可达140×140μm。采用探头扫描方法和双扫描工作模式，扩大了该测量方法的应用范围。给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光陶瓷的轮廓形貌的测量结果。

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