【摘 要】
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利用同步辐射Ｘ荧光分析技术，采用基本参数法，定量分析了单晶硅中掺杂元素Ｇｅ的含量。程序用标样进行了检验，误差小于１２％．
Using synchrotron radiation X-ray fluorescence analysis te
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利用同步辐射Ｘ荧光分析技术，采用基本参数法，定量分析了单晶硅中掺杂元素Ｇｅ的含量。程序用标样进行了检验，误差小于１２％．
Using synchrotron radiation X-ray fluorescence analysis technology, the basic parameter method was used to quantitatively analyze the content of doping element Ge in monocrystalline silicon. The program was tested with the standard, the error is less than 12%.
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