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介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法，重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法一纳米压痕法，并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力，对薄膜残余应力的测量进行了有益的探讨和尝试，结果表明纳米压痕技术可作为定性测量薄膜残余应力的有效手段。
NiTi薄膜残余应力测试方法的探讨
【摘 要】
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介绍了适用薄膜残余应力测量的弯曲法和X射线掠射法，重点介绍了一种新型测量薄膜残余应力的方法一纳米压痕法，并采用非球形压头纳米压痕法测量了NiTi薄膜的残余应力，对薄膜残余
【机 构】
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上海交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2007年1期
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