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采用电弧离子镀（AIP）和磁过滤电弧离子镀（MFAIP）方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜（SEM）观察了薄膜的表面形貌及组织结构；利用X射线衍射（XRD）及透射电镜（TEM）进行相鉴定；用纳米力学测试系统（NHT）测量了薄膜的硬度。结果表明：MFAIP TiN薄膜具有强烈的（111）面择优取向，薄膜表面光滑、表面熔滴颗粒（MP）少、薄膜的柱状晶组织细小、致密，薄膜具有较高的硬度。并在此基础上讨论了薄膜的强化机理，认为磁过滤器是制备高质量TiN薄膜及其复合薄膜行之有效的一种方