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列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程.有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系.本文强调反应粒子的反应碰撞,论述了从粒子输运出发探讨薄膜生长方法的优点.
反应溅射中靶面附近的粒子输运研究
【摘 要】
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列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程.有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系.本文强调
【机 构】
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广西工学院
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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2003年2期
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