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【摘 要】
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在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中 ,均需要流量的精细控制和检测系统。在这类流量精细控制和检测系统中 ,微小型泵是一个基本元件。作者利用上
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术教育部开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细技术教育部开放实验室,上海200030,上海交通大学信息存储研究中心!薄膜与微细
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年01期
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The fact
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