硼注入金刚石的分子动力学模拟

来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chino80

【摘要】

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利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:单个500 eV的硼原子注入后金刚石仍保持长程有序结构;表面层原子向内驰豫,邻

【作者】

：

李荣斌戴永兵胡晓君沈荷生何贤昶

【机构】

：

上海交通大学

【出处】

：

上海交通大学学报

【发表日期】

：

2003年10期

【关键词】

：

金刚石硼离子注入分子动力学 diamond boron particle implantation molecular dynamics

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利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500 eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:单个500 eV的硼原子注入后金刚石仍保持长程有序结构;表面层原子向内驰豫,邻近表达层的其他各层原子向外驰豫,表面层与近表层原子的间距减少了15%,而第2层原子与第3层原子之间的间距增加了1.5%;硼原子穿透到表面层下0.4 nm处,然后再向表面扩散;表面层产生0.4 MPa的压应力.

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