【摘 要】
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<正>铜互连技术发展已经步入了第20个年头。然而,即使芯片制造技术已经经历了20年的发展,铜的革命仍然被认为是该行业有史以来最为重大的变化之一。归功于铜的集成,电子产品
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<正>铜互连技术发展已经步入了第20个年头。然而,即使芯片制造技术已经经历了20年的发展,铜的革命仍然被认为是该行业有史以来最为重大的变化之一。归功于铜的集成,电子产品从此变得速度更快,性能更强大,性价比更高。为了纪念这个重要的里程碑,让我们一起关注该行业正在经历的变革,并回顾成功集成铜的过程。芯片微缩导致铝互连技术不再适用集成电路最初用铝作为导体,二氧化硅作为绝缘体(电介质),构建一个互连层,来将多个器件连接
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