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用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃（FOTURAN）内部，通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面，并结合热处理和在浓度8％的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min，在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔．利用光学和扫描电子显微镜分析发现微孔具有圆形横截面和清晰边缘，目前得到的深宽比大约为7．通过在宽范围内改变入射激光能流（2．3～36．2J／cm^2）和写制速度（100～1000μm／s），研究了这两项飞秒激光入射参量对制作微孔的影响．发现写制速度对制作微孔直径影响较小，而