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4H-SiC外延层中堆垛层错与衬底缺陷的关联性研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caoda0512116
【作 者】
:
郭钰 彭同华 刘春俊 杨占伟 蔡振立
【出 处】
:
无机材料学报
【发表日期】
:
2019年06期
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期刊论文4H-SiC外延层中堆垛层错与衬底缺陷的关联性研究发表于2019年06期无机材料学报作者郭钰,彭同华,刘春俊,杨占伟,蔡振立
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