【摘 要】
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随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展,MEMS陀螺仪技术逐渐成为当前研究的热点技术。MEMS陀螺仪具有成本低、体积小、功耗低、高可靠性等优点,随着MEMS技术的发展,它的成本不
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随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展,MEMS陀螺仪技术逐渐成为当前研究的热点技术。MEMS陀螺仪具有成本低、体积小、功耗低、高可靠性等优点,随着MEMS技术的发展,它的成本不断降低,精度却不断提高,在国防工业和汽车工业中应用非常广泛。本文简要的介绍了MEMS陀螺仪的概念和特征,分析了MEMS陀螺仪的发展现状,研究了MEMS陀螺仪的主要技术,研究了MEMS陀螺仪的一些技术性能的优化,总结了MEMS陀螺仪的发展趋势。
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