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提出了一种新式的双压电薄膜驱动串联压电泵,并对其输出性能进行了试验研究.压电泵采用多层粘结的圆片结构,包括PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)泵体、两个独立驱动的压电薄膜驱动器和三个弹性薄膜阀片.两个压电薄膜驱动器交叉工作(即驱动相位相差180°),相当于两个独立的单腔体泵串联工作,使该泵具有较高的输出压力和流量.泵的输出性能取决于压电薄膜几何参数.利用厚度0.18 mm、直径50 mm的压电薄膜制作的试验样机能以两种不同的方式工作:直接输液(药液流经泵腔)和间接输液(药液不经过泵腔,利用空气压力使密封