【摘 要】
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微小型离子阱质谱仪凭借其优异的分辨率、准确度以及灵敏度在危险检测、环境以及食品安全检测、临床研究等方面有着广泛的应用.针对国际上MEMS小型离子阱制备存在对准难度高
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国航天科研训练练中心,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然基金（21175121）
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微小型离子阱质谱仪凭借其优异的分辨率、准确度以及灵敏度在危险检测、环境以及食品安全检测、临床研究等方面有着广泛的应用.针对国际上MEMS小型离子阱制备存在对准难度高、端盖表面翘曲等的问题,提出了一种采用三层硅片键合的圆柱形离子阱的制备方法,将分离制备的端盖电极与端盖电极进行键合,以降低制备难度和对准精度要求,解决翘曲问题,同时提升器件结构尺寸的可操纵性,对制备过程中的金-金键合工艺进行优化,为未来微小型化质谱仪的应用奠定了良好的基础.
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