用于VCSEL与光纤对准的新型集成微光学系统

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半导体激光器与光纤耦合封装模块是光网络中最重要和关键的元器件之一。文章介绍了用于VCSEL与光纤对准的一种新型集成微光学系统。该微光学系统用于控制VCSEL光束方向相当有效,能极大提高耦合效率,而且具有很好的对准重复性。它采用MEMS和光电子学封装技术,可用于目前低成本的耦合模块。
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