【摘 要】
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鉴于氮在磷砷化镓中能形成等电子陷阱,人们曾希望向砷化镓掺氮并研究其有关特性,但均未获成功。主要困难是,即使用离子注入技术向砷化镓注~(14)N~+,但退火后的结果表明,氮的
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,复旦大学
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鉴于氮在磷砷化镓中能形成等电子陷阱,人们曾希望向砷化镓掺氮并研究其有关特性,但均未获成功。主要困难是,即使用离子注入技术向砷化镓注~(14)N~+,但退火后的结果表明,氮的特征峰已不复存在。 我们多次重复地对砷化镓进行了离子束掺氮,并采用适当的退火措施。制管后,在加偏压的情况下,观察到了发非白色可见光的现象。
In view of the fact that nitrogen can form an electron-trapping trap in the gallium arsenide phosphide, it has been hoped that nitrogen will be doped into the gallium arsenide to study its properties, but none have been successful. The main difficulty is that even though ion implantation is used to implant ~ (14) N ~ + into gallium arsenide, the post-annealing results show that the characteristic peak of nitrogen no longer exists. We repeatedly ion-doped gallium arsenide with nitrogen, and the appropriate annealing measures. After the tube was made, a phenomenon of non-white visible light was observed under the bias condition.
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