1571nm超窄带干涉滤光片的研制

来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vvlioo
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针对现代光通信中的核心元件之一—密集型波分复用系统中极窄带光学薄膜干涉滤光片的指标要求,在WMS02基片上研制中心波长为1571nm,0.5dB(透过率为89.12%)带宽大于0.25nm,25dB(透过率为0.32%)带宽小于1nm的超窄带干涉滤光片。根据薄膜设计理论采用四分之一波长的规整膜系进行膜系设计。应用离子辅助真空镀膜技术,选用Nb2O5/Ta2O5和SiO2氧化物硬质薄膜材料进行实验,重点解决了膜厚均匀性的问题,制备出符合使用要求的滤光片。
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