【摘 要】
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随着分子束外延(MBE)和金属有机化合物气相沉积(MOCVD)超薄层外延生长技术的发展,半导体超晶格和量子阱结构的研究工作已引起人们极大的兴趣[1-3].这个研究领域之所以倍受重
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
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随着分子束外延(MBE)和金属有机化合物气相沉积(MOCVD)超薄层外延生长技术的发展,半导体超晶格和量子阱结构的研究工作已引起人们极大的兴趣[1-3].这个研究领域之所以倍受重视,除了因为有明显的技术应用前景之外,还因为在物理上它提供了一个极好的、能在实验上观察量子尺寸效应
With the development of MBE and MOCVD thin-layer epitaxial growth technology, the research of semiconductor superlattice and quantum well structure has drawn great interest [1-3]. This area of research is heavily valued, except for obvious technical application prospects and because it provides an excellent physics experimentally able to observe quantum size effects
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