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通过等效电路数值提取方法,提出了衬底电阻网络模型,该模型具有清晰的物理意义,可获得很好的精度,有利于混合信号电路衬底耦合效应的模拟.将该模型应用于规则和不规则区域的电阻值提取,用Hspice电路模拟器对电阻网络进行模拟,与Medici器件模拟器模拟结果和解析公式结果进行比较,证明了该模型的准确性.