【摘 要】
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为了提高集成电路良率,基于熔丝技术的冗余电路被大量应用于集成电路设计中。通过选择不同的熔丝种类,达到集成电路设计对编程条件和编程后熔丝阻值的不同需求。通过优化熔丝
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为了提高集成电路良率,基于熔丝技术的冗余电路被大量应用于集成电路设计中。通过选择不同的熔丝种类,达到集成电路设计对编程条件和编程后熔丝阻值的不同需求。通过优化熔丝器件结构、编程条件等参数实现不同应用需求的熔丝量产。实验中,多晶硅电迁移熔丝发生电迁移时编程电流约为10 mA,只有多晶硅热熔断熔丝编程电流的1/3,这样可以有效减小fuse选择管NMOS的尺寸,减小芯片面积。
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