【摘 要】
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采用Pechini方法,在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上沉积了均质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3(CMT),CaTiO3(CT)和堆叠次序不同以及摩尔比不同的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3(CMT/CT)薄膜.结果表
【机 构】
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景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,江西景德镇333001;中国建筑材料科学研究总院,绿色建筑材料国家重点实验室,北京 100024;武汉理工大学材料材料科学与工程学院,复合新技术国家重点实验室,武汉
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采用Pechini方法,在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基板上沉积了均质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3(CMT),CaTiO3(CT)和堆叠次序不同以及摩尔比不同的异质Ca(Mg1/3Ta2/3)O3/CaTiO3(CMT/CT)薄膜.结果表明:以CT为底层的异质CMT/CT薄膜可以形成单一的钙钛矿结构,以CMT为底层的异质薄膜则有杂相产生.对于以CT为底层的不同摩尔比的异质CMT/CT薄膜,随着CMT含量的增加,异质薄膜中CT的衍射峰逐渐减小至消失,而CMT的结晶度变得更强,这说明以CT为缓冲层将有助于上层的CMT形成钙钛矿相.介电性能研究表明:异质CMT/CT薄膜的介电常数高度依赖于CMT的含量,而介电损耗不但与CMT含量有关,还与异质薄膜中界面数有关.当n(CMT):n(CT)=1:1(摩尔比)时,异质的CMT/CT薄膜的介电常数和损耗分别为56和0.038.
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