【摘 要】
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针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分（PID）结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间
【机 构】
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台州职业技术学院机电工程学院,沈阳工业大学机械工程学院
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针对微细电火花加工技术的特点,开发、研制了高精度三维微结构加工的细电火花设备,主要介绍了该装置的结构和数字比例、积分和微分（PID）结合双向静差补偿的控制方法,实现放电间隙与放电状态的自适应调节,并利用该装置进行了平台性能的试验研究,试验结果表明该加工技术响应时间快、平稳、超低速和超高分辨率、加工效率较高,可实现平台在100 mm行程内达到亚微米级精度,最低速度为0.1μm/s,闭环最小步进量为100nm,可满足微细电火花加工的要求。
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