Au／（Si／SiO2）／p-Si结构中电流输运机制的研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xyfan

【摘要】

：

用射频磁控溅射法制备了Si/SiO2薄膜,利用Au/(Si/SiO2)/p-Si结构的I-V特性曲线对其输运机制进行了分析.结果表明,在较高的正向电场下,载流子主要是以电场协助隧穿(Fowler-Nor

【作者】

：

张开彪马书懿

【机构】

：

西北师范大学物理与电子工程学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年7期

【关键词】

：

半导体技术射频磁控溅射 I-V特性电场协助隧穿 semiconductor technology R.F magnetron sputtering I-V

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用射频磁控溅射法制备了Si/SiO2薄膜,利用Au/(Si/SiO2)/p-Si结构的I-V特性曲线对其输运机制进行了分析.结果表明,在较高的正向电场下,载流子主要是以电场协助隧穿(Fowler-Nordheim隧穿)方式通过氧化层,而在低场范围内和反向电场下,电流的产生则以热电子发射的方式为主.

其他文献

消风活血冲剂对哮喘豚鼠BALF Th1／Th2细胞因子产生的影响

目的观察消风活血冲剂对哮喘豚鼠中支气管肺泡灌洗液（BALF）Th1、Th2细胞因子产生及调节影响。方法采用卵白蛋白致敏豚鼠．激发前7d予以药物干预，测定引喘潜伏期，于诱喘后采集标本，计

期刊

消风活血冲剂哮喘慢性气道变应性炎症IFN-γIL-4IL-5支气管肺泡灌洗液

某医学院2008级本科新生心理健康现况调查分析

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

会议

对博物馆志愿者培训和激励机制的探讨

近些年,我国的社会志愿服务不断升温,越来越多的人们选择以志愿服务这种不占用工作时间的形式,获取本职工作以外的社会经历,而在这其中"博物馆志愿者"以其专业性、知识性、公

期刊

博物馆志愿者培训激励机制

H型精密运动平台交叉耦合模糊PID同步控制

针对双直线电机驱动的H型精密运动平台由于永磁直线同步电机参数变化和扰动等不确定因素致使两边的运动不同步问题,提出一种交叉耦合模糊PID控制方法.在单轴中采用模糊PID控

期刊

H型精密运动平台交叉耦合控制模糊PID控制同步误差永磁直线同步电机跟踪精度同步运动机械耦合

讲担当做事业上的有为人

期刊

矛盾化解为民服务

试论人类命运共同体思想的创新精神

人类命运共同体理论的产生,是中国人民在实践中不断进行理论创新和实践创新的过程,也是中华文化独有的智慧不断借鉴、学习世界优秀文明成果并加以消化吸收的过程,彰显中国共

期刊

人类命运共同体辩证法辩证否定创新精神

浅谈月经不调的相关因素及保健

通过对月经不调相关因素及保健措施的研究得到以下结论:神经内分泌功能失调及器质性病变等原因可引起月经不调,应多了解卫生常识,预防原发性痛经,积极治疗相关疾病。

期刊

月经不调相关因素保健

黑龙江省赫哲族民俗调查报告

黑龙江省地处于中国东北部,地理位置相对偏远,省内居住有多个民族,除汉族外还居住着赫哲族,朝鲜族,鄂伦春族……在社会主义建设稳步前进的道路上,民族和谐,各个民族共同发展

期刊

赫哲族民俗调查

Au／（Si／SiO2）／p-Si结构中电流输运机制的研究

其他学术论文