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探讨了一甲基三氯硅烷和三甲基一氯硅烷歧化反应机理。实验结果表明,在促进剂一甲基二氯硅烷存在下,以AlCl_3催化的一甲基三氯硅烷与三甲基一氯硅烷的歧化反应实现了一甲基三氯硅烷和三甲基一氯硅烷的有效利用,制得了甲基氯硅烷混合物,反应过程主要为亲核取代反应;一甲基二氯硅烷的主要作用是与AlCl_3结合促进配位化合物[AlCl_4]~-的形成;反应前后一甲基二氯硅烷的含量变化较小。