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随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高，Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
【摘 要】
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随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高，Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺
【机 构】
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上海交通大学先进热处理与表面改性工程技术研究中心,北京航空航天大学机械设计与自动化学院材料加工与控制系
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2006年8期
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