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高纯一氧化碳的制造方法本方法的特点是在加热分解甲酸制造一氧化碳时，采用Ｈ－丝光沸石作为催化剂；其二是Ｈ－丝光沸石催化剂的Ｓｉ／Ａｌ原子比为５～３０；其三是加热分解温度为１５０～３００℃。本方法是制造高纯一氧化碳，特别是用于集成电路等半导体制造领域的９...
高纯一氧化碳的制造方法
【摘 要】
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高纯一氧化碳的制造方法本方法的特点是在加热分解甲酸制造一氧化碳时，采用Ｈ－丝光沸石作为催化剂；其二是Ｈ－丝光沸石催化剂的Ｓｉ／Ａｌ原子比为５～３０；其三是加热分解温度为１５０～３００℃。本方法是制造高纯一氧
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1998年2期
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