【摘 要】
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MEMS在手机中的应用,在未来5年内既是复杂的挑战,又是巨大的机遇。Si话筒和FBAR/BAW(薄膜体声谐波/体声波)滤波器自2003年问世后获得惊人的发展,并正走向成熟。MEMS加速器正
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MEMS在手机中的应用,在未来5年内既是复杂的挑战,又是巨大的机遇。Si话筒和FBAR/BAW(薄膜体声谐波/体声波)滤波器自2003年问世后获得惊人的发展,并正走向成熟。MEMS加速器正处于急速发展阶段,陀螺仪、微显示、自动聚焦和微变焦产品才刚起步,未来有待开发的还有压力传感器、微镜
The application of MEMS in cell phones is both a complex challenge and a huge opportunity in the next five years. Si microphones and FBAR / BAW (film bulk acoustic / bulk acoustic wave) filters have enjoyed phenomenal growth since 2003 and are maturing. MEMS accelerators are in a period of rapid growth. Gyroscopes, microdisplay, auto-focus and micro-zoom products are just starting out. In the future, there are pressure sensors, micromirrors
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