蠕动式精密直线驱动器

来源 :吉林大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lqw1100
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基于蠕动原理和误差补偿技术,用压电陶瓷作为动力源设计了一种精密直线驱动器.建立了驱动器的动力学模型,并制作了样机.试验表明:在计算机闭环控制下,该驱动器能够可靠地实现双向运动.在行程为1 mm时,定位精度达到±0.01 μm;有效驱动力为20 N.
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