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【摘 要】
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为了提高激光直写加工衍射光学元件时的线条质量,提出一种离焦激光直写的线宽稳定方法。该方法通过同时调节激光功率和离焦量,使光刻胶的曝光阈值处于线宽对曝光量的变化率较
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2008年09期
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