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结合非晶金刚石离子镀膜机的工艺特点和要求,介绍了一种成功应用的分布式控制系统的设计,重点讨论了控制系统的硬件配置、软件设计、通信服务程序以及软件编程中的几个控制算法.
非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计
【摘 要】
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结合非晶金刚石离子镀膜机的工艺特点和要求,介绍了一种成功应用的分布式控制系统的设计,重点讨论了控制系统的硬件配置、软件设计、通信服务程序以及软件编程中的几个控制算
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年1期
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