【摘 要】
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针对光刻机工件台中的永磁同步直线电机伺服系统需要高跟踪精度和高频响等问题，电机驱动控制系统的电流内环应具有快速响应能力。为了研究高动态性能的电流环控制策略，提出一种
【机 构】
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哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院
【基金项目】
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国家科技重大专项(2009ZX02207-001);国家自然科学基金(51177024);国家杰出青年科学基金(51225702)
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针对光刻机工件台中的永磁同步直线电机伺服系统需要高跟踪精度和高频响等问题，电机驱动控制系统的电流内环应具有快速响应能力。为了研究高动态性能的电流环控制策略，提出一种基于空间矢量脉宽调制技术，并通过引入修正因子来优化电流预测控制的算法，在保证对电流指令稳定跟踪的同时，提高了电流环的动态性能，有效地解决了传统的电流预测控制策略中稳态特性和动态特性之间的平衡问题，适合应用在要求电流环具有高动态特性的场合。构建了系统仿真模型和基于FPGA的实验平台，仿真和实验结果表明该优化算法的正确性和实用性。
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