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研究了电感耦合等离子体质谱（ ICP-MS）法测定锰锌铁氧体中硅和磷元素的分析方法。样品用硝酸＋盐酸经微波溶解，用超纯水稀释后直接进入IC P-M S法进行测定。通过向八极杆碰撞/反应池（O RS ）中引入氦气，消除高盐基体带来的多原子离子质谱干扰，采用Y为内标元素校正基体效应所产生的影响，优化了仪器的最佳工作参数。采用NIST SRM 362和NIST SRM 364验证了方法的准确性，测定结果与标准物质所提供的参考值一致。硅和磷元素的检出限分别为0.91和0.27μg · L -1。