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纳米多层膜中晶体生长的互促效应
纳米多层膜中晶体生长的互促效应
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mxl19860326
【摘 要】
:
由两种材料以纳米量级交替沉积形成多层结构时,由于一沉积层的"模板"效应,另一沉积层可以形成非平衡相并在一定的厚度范围内稳定存在.本文的研究发现,在纳米多层膜中,不但存
【作 者】
:
劳技军
曹章轶
孔明
董云杉
李戈扬
【机 构】
:
上海交通大学材料科学与工程学院,华东师范大学物理系
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
纳米多层膜
晶体生长
互促效应
碳化硅材料
晶体结构分析
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由两种材料以纳米量级交替沉积形成多层结构时,由于一沉积层的"模板"效应,另一沉积层可以形成非平衡相并在一定的厚度范围内稳定存在.本文的研究发现,在纳米多层膜中,不但存在使非晶层晶化的模板效应,而且,由此效应形成的晶体层亦可对模板层的晶体生长起到促进作用.
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